單晶爐是軟軸提拉型晶體生長設備，在低於常壓的惰性氣體環境中，以石墨電阻加熱器加熱，將填充在石英坩堝內的多晶矽材料熔化，用直拉法生長無位錯的高質量單晶設備。目前可生產 CZ160 型及以上單晶爐設備。