碳碳複合材料是碳纖維及其織物增強的碳基體複合材料，通過沉積、石墨化熱處理，按照圖紙要求進行機加工處理，製成成品。碳碳複合材料製品是單晶矽熱場的重要組成部分，目前也是具有發展前途的高温材料之一。